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磁性MEMS器件集成制造及应用

简介 磁性MEMS器件集成制造及应用

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2015
期刊 Journal of Materials Science: Materials in Electronics
2014
会议 2014 12th IEEE International Conference on Solid-State and Integrated Circuit Technology (ICSICT)
2013
期刊 Journal of Micromechanics and Microengineering