Improved micro fluxgate sensor with double-layer Fe-based amorphous core

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磁性MEMS器件集成制造及应用

简介磁性MEMS器件集成制造及应用

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2012

期刊 Microsystem Technologies

作者 Chong Lei · Jian Lei · Zhen Yang · Yong Zhou

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卷 19
期 2
页码 167-172
Springer Science and Business Media LLC
ISSN: 0946-7076
DOI: 10.1007/s00542-012-1523-z

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