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Reliability of through-silicon-vias (TSVs) with benzocyclobutene liners
2013
期刊
Microelectronics Reliability
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- 卷 53
- 期 5
- 页码 725-732
- Elsevier BV
- ISSN: 0026-2714
- DOI: 10.1016/j.microrel.2012.12.012