FOI FinFET with ultra-low parasitic resistance enabled by fully metallic source and drain formation on isolated bulk-fin
2016
会议
2016 IEEE International Electron Devices Meeting (IEDM)
作者
Qingzhu Zhang
· Huaxiang Yin
· Jun Luo
· Hong Yang
· Lingkuan Meng
· Yudong Li
· Zhenhua Wu
· Yanbo Zhang
· Yongkui Zhang
· Changliang Qin
· Junjie Li
· Jianfeng Gao
· Guilei Wang
· Wenjuan Xiong
· Jinjuan Xiang
· Zhangyu Zhou
· Shujian Mao
· Gaobo Xu
· Jinbiao Liu
· Yang Qu
· Tao Yang
· Junfeng Li
· Qiuxia Xu
· Jiang Yan
· Huilong Zhu
· Chao Zhao
· Tianchun Ye
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- IEEE
- ISBN: 9781509039029
- DOI: 10.1109/iedm.2016.7838438